全硅MEMS甲烷传感器及瓦斯检测应用和制备方法

技术简介： 一种全硅MEMS甲烷传感器及瓦斯检测应用和制备方法，适用于工矿环境下使用，属于甲烷传感器及其制备方法与检测方法，特别属于采用微电子机械系统加工技术的甲烷传感器及其甲烷检测方法。该全硅ME…… 查看详细 >

全硅MEMS甲烷传感器

技术简介： 一种全硅MEMS甲烷传感器，适用于工矿环境下使用。特别属于采用微电子机械系统加工技术的甲烷传感器。包括硅元件、固定端与硅框架支座；所述硅框架支座为SOI基片，包括硅衬底、设在硅衬底上的埋…… 查看详细 >

基于硅加热器的MEMS甲烷传感器及其制备方法与应用

技术简介： 一种基于硅加热器的MEMS甲烷传感器及其制备方法，属于甲烷传感器及其制备方法，特别属于采用微电子机械系统加工技术的甲烷传感器及其制备方法与甲烷检测方法。该甲烷传感器采用普通的单晶硅硅圆…… 查看详细 >

基于硅加热器的MEMS甲烷传感器

技术简介： 一种基于硅加热器的MEMS甲烷传感器，适用于工矿企业中对瓦斯防治时使用。以P型硅为衬底，在所述P型硅衬底上形成N型硅；以所述P型硅衬底上的N型硅加工制备硅加热元件；所述硅加热元件包括两个固…… 查看详细 >

一种MEMS甲烷传感器及其应用和制备方法

技术简介： 一种MEMS甲烷传感器及其应用和制备方法，适用于煤矿检测使用。特别属于采用微电子机械系统加工技术的甲烷传感器及其甲烷检测方法。该传感器以普通单晶硅作为加热元件的材料，加热元件同时作为敏…… 查看详细 >

一种MEMS甲烷传感器

技术简介： 一种MEMS甲烷传感器，适用于煤矿检测使用。它包括P型硅衬底，在所述P型硅衬底正面形成N型硅；以所述P型硅衬底上的N型硅加工制备硅加热元件；所述硅加热元件包括两个固定端、硅加热器、两个硅悬…… 查看详细 >

一种基于倒装焊封装的甲烷传感器及其制备方法与应用

技术简介： 一种基于倒装焊封装的微型甲烷传感器及其制备方法，属于MEMS甲烷传感器及其制备方法。该甲烷传感器首先采用MEMS技术加工制备单片高温加热器与单片甲烷气体检测器与环境温度检测器，然后通过倒装…… 查看详细 >

一种基于倒装焊封装的甲烷传感器

技术简介： 一种基于倒装焊封装的微型甲烷传感器，属于MEMS甲烷传感器及其制备方法。该甲烷传感器首先采用MEMS技术加工制备单片高温加热器与单片甲烷气体检测器与环境温度检测器，然后通过倒装焊封装技术将…… 查看详细 >

湿式净化机

技术简介： 湿式净化机，包括净化箱体及可移动底座，净化箱体由引风喷射器、旋流分离板、汽水分离板、集水器等构成，引风喷射器包括供水管、截止阀、喷嘴、喷嘴座、引风喷射管，若干个引风喷射器排列于净化…… 查看详细 >

湿式负压诱导除尘系统

技术简介： 一种湿式负压诱导除尘系统，包括集尘罩、吸尘口、负压引风管、风机、喷雾装置、过滤板、旋流装置、排气减压装置，集尘罩设置于产尘点上方，吸尘口下口与集尘罩相连接，吸尘口上口与负压引风管相…… 查看详细 >

一种除尘用磁性软密封

技术简介： 一种除尘用磁性软密封，采用矩形阻燃篷布，其一侧内置若干强磁铁，吸附到运动部件的边沿，另一侧内置聚氨酯软管，贯穿固定于C型槽内部，C型槽焊接于所需密封部位的静止部件上，从而方便了安装、…… 查看详细 >

掘进机超声冲量除尘器

技术简介： 本发明掘进机超声冲量除尘器，由悬臂除尘器和侧翼除尘器两部分构成，悬臂除尘器主要由悬臂上除尘器和悬臂侧除尘器两部分构成，侧翼除尘器主要由侧翼左除尘器、侧翼右除尘器、侧翼千斤顶和侧翼翻…… 查看详细 >