[00018921]全硅MEMS甲烷传感器
联系人： 张玲
所在地：江苏 徐州市
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技术详细介绍
一种全硅MEMS甲烷传感器，适用于工矿环境下使用。特别属于采用微电子机械系统加工技术的甲烷传感器。包括硅元件、固定端与硅框架支座；所述硅框架支座为SOI基片，包括硅衬底、设在硅衬底上的埋层氧化硅及埋层氧化硅之上的顶层硅，顶层硅为单晶硅；该全硅MEMS传感器采用单晶硅作为加热元件的加热材料，加热元件同时作为甲烷敏感元件，且不需催化剂载体及催化剂材料即可实现低浓度甲烷的检测。该全硅MEMS甲烷传感器以SOI硅片为基片采用MEMS工艺加工，加工工艺与CMOS工艺兼容。该全硅MEMS传感器具有功耗低、灵敏度高、不受缺氧的影响、不受积碳、中毒等因催化剂所带来影响的特点。
