[00018924]一种MEMS甲烷传感器及其应用和制备方法
联系人： 张玲
所在地：江苏 徐州市
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技术详细介绍
一种MEMS甲烷传感器及其应用和制备方法，适用于煤矿检测使用。特别属于采用微电子机械系统加工技术的甲烷传感器及其甲烷检测方法。该传感器以普通单晶硅作为加热元件的材料，加热元件同时作为敏感元件，且不需催化剂载体及催化剂材料；加工工艺与CMOS工艺兼容，加热元件的释放采用双向同时刻蚀的湿法硅刻蚀技术。该传感器具有成本低、灵敏度高、功耗低、灵敏度高、测量不受氧气浓度影响、不受积碳、中毒影响的优点。
