[00018922]基于硅加热器的MEMS甲烷传感器及其制备方法与应用
联系人： 张玲
所在地：江苏 徐州市
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技术详细介绍
一种基于硅加热器的MEMS甲烷传感器及其制备方法，属于甲烷传感器及其制备方法，特别属于采用微电子机械系统加工技术的甲烷传感器及其制备方法与甲烷检测方法。该甲烷传感器采用普通的单晶硅硅圆片加工硅加热器，硅加热器同时作为甲烷敏感元件、不需催化剂载体及催化剂材料。该甲烷传感器的加工工艺与CMOS工艺兼容，若大批量生产具有价格低廉的优势，且可批量校准。该甲烷传感器具有功耗低、灵敏度高、响应速度快、缺乏氧气时不会对甲烷检测产生影响、不受积碳、中毒等因催化剂所带来影响的特点。
