[00018925]一种MEMS甲烷传感器
联系人： 张玲
所在地：江苏 徐州市
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技术详细介绍
一种MEMS甲烷传感器，适用于煤矿检测使用。它包括P型硅衬底，在所述P型硅衬底正面形成N型硅；以所述P型硅衬底上的N型硅加工制备硅加热元件；所述硅加热元件包括两个固定端、硅加热器、两个硅悬臂；该传感器以普通单晶硅作为加热元件的材料，加热元件同时作为敏感元件，且不需催化剂载体及催化剂材料；该传感器具有成本低、灵敏度高、功耗低、灵敏度高、测量不受氧气浓度影响、不受积碳、中毒影响的优点。
