信息来源:江苏省科技厅 发布日期:2012-03-27 浏览量:48
真空溅射薄膜材料(俗称“靶材”)是各种高质量的大型平面显示面板、薄膜太阳能面板及半导体面板制造的关键材料。随着电子技术的快速发展,对靶材的需求量也越来越大。
常州苏晶电子材料有限公司于2011年承担了省科技成果转化专项资金项目——“新型平面显示用关键超大型高纯靶材的研发与产业化”。在专项资金的引导推动下,企业攻坚克难,不断创新,建成了我国首条从钼粉混合到钼靶、从铝锭到铝靶的生产线,打破了国外靶材企业对平板显示面板用大型钼靶生产设备、工艺技术的垄断,已成功开发出平面显示六、七、八世代钼靶、铝靶、钛靶、铜靶等靶材,并开始研发ITO靶、半导体集成电路制造中使用的钛靶、钨靶、钽靶等,产品的技术性能指标达到国际先进水平。近日,企业又在台湾中部科学工业园内投资3900万新台币成立台湾苏晶公司,是国内首家进驻台湾中科园的纯陆资企业。目前,苏晶电子已经成为中国唯一一家进入世界市场的靶材公司,其产品主要供应给台湾的三大企业,占其需求总量的90%以上。
来源:江苏省生产力促进中心
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