万军博士研究成果填补了国内PEALD技术空白

　　日前，万军博士的博士后中期考核汇报会在嘉兴科技城JRC大楼举行。浙江大学、中科院嘉兴微电子仪器与设备工程中心、嘉兴科民电子设备技术有限公司、市人事局、南湖区政府等有关单位领导和专家出席会会议。

　　会上，万军博士汇报了其博士后研究项目“等离子体增强原子层沉积系统及工艺开发”的研究进展情况，并重点介绍该项目取得的阶段性成果。

　　进站一年多来，万军博士成功开发了我国首台等离子体原子层沉积（PEALD）设备，填补了国内技术空白，并实现了产品销售。该设备集成度高，可实现全流程自动化控制，具有均匀性好、适用范围广等特点，各项技术指标均达到了国际先进水平。另外，万博士已申请5项国家发明专利，其博士后项目也获得了中国博士后基金资助。

　　经考核小组讨论，一致同意万军通过博士后中期考核，并给予优秀的综合评定。

　　（来源：浙江省科技厅 作者：嘉兴市科技局）