北京市国产6英寸区熔硅单晶炉设备研制取得重大突破

　　近日，市科委重点支持的高端装备制造企业——北京京运通科技股份有限公司（以下简称京运通公司）通过自主研发，成功开发出国产6英寸区熔单晶炉设备，并突破国产设备的大尺寸区熔单晶制备工艺技术，采用国产设备连续成功拉制出了6英寸区熔单晶。区熔硅单晶较直拉硅单晶具有更高纯度，是电力电子器件的关键材料，广泛用于电力整流器、大功率晶闸管、功率集成电路等领域，市场前景巨大。

　　中国电子专用设备工业协会对京运通公司开发的区熔单晶硅炉设备进行了技术鉴定，专家认为，采用该国产设备实现6英寸区熔单晶硅棒连续成功拉制，填补了国内空白，打破了国外对5-6英寸区熔单晶生产设备的垄断，为推进大尺寸区熔单晶设备产业化奠定了坚实基础。