重庆市成功研制出高精度传感器系统

　　近日，重庆川仪自动化股份有限公司承担在“863”计划课题“过程控制硅压力传感器及系统”顺利通过科技部验收。项目组攻克了过程控制硅压力传感器及系统的技术设计、关键部件开发、制造工艺、装备等关键技术问题，实现了覆盖全量程范围的过程控制硅压力传感器芯片的设计、模型建立和芯片流片的制造；提出了以消压力环状结构和多层粘合结构为核心的无应力封装结构，解决了传感器组件的应力问题；开发了适配软件，建立压力、温度等参数的补偿模型和补偿参数自动修正方法，成功研制出高精度传感器系统（压力/差压变送器），测试精度达0.075%级，并建立1条产能达50000台/年以上的传感器系统生产流水线，实现销售额达1亿元以上。

　　

　　智能压力/差压变送器传感器生产线