苏州高新区将建MEMS工程技术研究中心

　　近日，位于高新区的中国兵器工业集团第二一四研究所与清华大学、东南大学、苏州大学签署“MEMS工程技术研究中心”战略合作框架协议。

　　“MEMS”是指微小尺度机械电气系统，主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器以及相应的专用集成电路等几部分，通常尺度为微米级。MEMS技术是在融合多种微纳米量级加工技术以及集成电路工艺技术基础上发展起来的一种新型多学科交叉的前沿技术，其重要的应用载体是微惯性测量单元它以体积小、价格低、高可靠等优点而广泛应用于汽车电子、生物医学、常规弹药制导化等军民领域。

　　中国兵器工业集团第二一四研究所，是苏州最早引进的大院大所之一，为建立MEMS器件与组件自主创新研发平台，打破国外封锁与垄断，二一四所将联合清华大学、东南大学、苏州大学共同开展MEMS惯性器件研发。合作方向将包括：MEMS新理论、新技术、新工艺研究；MEMS 新产品开发和工程化研制；MEMS产业化发展研究与模式探索；MEMS技术和产品应用研究与市场推广等。

　　通过本次签约，合作各方将进一步优化资源配置、提升创新能力，大力发展MEMS在军民两个领域的应用，以更好地服务地方经济，实现各方的合作共赢。