新加坡南洋理工大学陈家陞来微电子所作学术交流
信息来源：中国科学院北京分院 发布日期：2016-04-01 浏览量：19
3月18日，新加坡南洋理工大学等离子创新实验室执行总裁陈家陞博士来微电子所进行学术交流并作学术报告。微电子所科研人员、研究生共30余人参加了交流活动。
陈家陞在报告中详细介绍了半导体材料基因组中先进等离子体源和诊断系统的发展近况，展示了新加坡南洋理工大学等离子体处理创新实验室、等离子体源和应用中心的科研工作，并就等离子清洗、无损检测及微电子设备相关技术问题同与会人员就进行了深入交流，现场气氛活跃，学术气息浓厚。陈家陞还在微电子所科研人员的陪同下实地参观了微电子仪器设备研发平台和集成电路先导工艺研发平台。
陈家陞现任新加坡南洋理工大学等离子源与应用研究中心首席研究员兼研究生导师，研究内容涉及高密度等离子原子化诊断与材料处理以及硅太阳能电池制造应用。
交流会现场
参观微电子仪器设备研发平台
（微电子所供稿）
