一种铁电陶瓷的周期性条带畴结构分析方法
专利(申请)号:2021102493785
专利类型:发明专利
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专利简介
本发明公开了一种铁电陶瓷的周期性条带畴结构分析方法,属于微纳表征技术领域,该方法包括以下步骤:使用高电压高压强方法制备铁酸铋陶瓷,切成薄片(板)并抛光,通过原子力显微镜表征其形貌;运用矢量压电力显微镜表征纳米铁电陶瓷中的周期性条带畴,采用精细的矢量压电力显微术分析方法确定其三维畴结构。通过本发明给出的铁电陶瓷制备方法,可用于非挥发的、高密度的铁电随机存取存储器;同时,提供的表征方法能够准确给出周期性条带畴的三维畴结构,提出了一种识别陶瓷样品中极化翻转类型的方法,为高密度的铁电存储器件开发及表征检测提供方案;推动具有周期性畴结构的铁酸铋陶瓷的制备工艺发展以及批量化生产。
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