专利简介
本发明公开了一种高世代平板减薄用混酸预清洗液，其组分按重量百分比计包括：50～80%重量的硫酸、5～18%重量的磷酸、0.01～2%重量的盐酸和/或可溶性氯盐、1～7%重量的硝酸和余量水；可溶性氯盐为选自氯化钠、氯化钾、氯化铵中的至少一种。本发明的高世代平板减薄用混酸预清洗液采用硫酸、磷酸、盐酸和/或可溶性氯盐、硝酸和水混合而成，由于硫酸对一些无机和有机化合物都有一定的溶解能力，能有效去除玻璃基板表面的灰尘、指纹等，并且通过调整硫酸、磷酸、硝酸、盐酸和/或可溶性氯盐的浓度，可以控制硫酸对固化胶的溶解速度。
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