晶体硅太阳电池正面电极接触电阻测量装置

　　本实用新型公开了一种晶体硅太阳电池正面电极接触电阻测量装置（专利号201420576267.0），包括：样品台，用于放置样品；立柱，位于样品台的一侧；探针进给装置，安装于立柱上，位于样品台的上方；探针安装板，与探针进给装置连接，安装有若干用于检测样品接触电阻的探针，其中，探针进给装置内部设置有用于控制探针安装板上下移动的探针压力控制系统。本实用新型提供的晶体硅太阳电池正面电极接触电阻测量装置，具有结构简单、操作便捷、功能齐全的特点，通过探针压力控制系统的调节与控制，保证了在测量时探针下压深度的一致性，提高了测量接触电阻的稳定性和准确性，同时，采用开尔文探针连接方法，消除测试引线电阻对被测电阻的影响，有效地减小了测量误差。

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