多晶硅还原炉钟罩内壁涂层及其制备方法、多晶硅还原炉钟罩内壁涂层的喷涂装置和应用

本发明公开了一种多晶硅还原炉钟罩内壁涂层及其制备方法、多晶硅还原炉钟罩内壁涂层的喷涂装置和应用,该多晶硅还原炉钟罩内壁涂层包括相互连接的银基底层和表面层,表面层为热力学稳定的薄膜,薄膜主要成分为银,且在银中掺杂有碳、氧、铁和硅。该内壁涂层的制备方法为在多晶硅还原炉钟罩的内壁上的银涂层的表面掺杂渗透入碳、氧、铁和硅,以使得银涂层变为银复合涂层。通过银基底层和薄膜构成的表面层共同构成的复合结构的涂层,由于该表面层具有稳定的热力学性质,能够在空气环境或还原炉运行条件下稳定存在,因此,使得该内壁涂层既具有银涂层优异的红外辐射反射性能,又具有很好的稳定性,使得具有该涂层的还原炉能够长期稳定运行。

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