一种等离子体发生器及其等离子体产生方法

本发明公开了一种等离子体发生器，包括反应器腔体、多级催化隔板电极和电源，多级催化隔板电极垂直安装于反应器腔体内，相邻催化隔板电极之间形成等离子体腔室；电源正极和电源负极以交错间隔方式与所述催化隔板电极连接；催化隔板电极包括有具有透气功能的电介质和电极，电介质由光催化材料、铁电催化材料或光催化和铁电材料的混合物质组成。本发明通过将多级催化隔板电极以交错间隔方式与电源连接，且催化隔板电极采用具有透气孔的电介质和电极制成，而电介质由光催化材料、铁电催化材料或光催化和铁电材料的混合物质组成，可以充分利用放电过程中产生的光辐射能量和电子能量，达到在较低放电电压下产生高电子密度的等离子体。

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