一种48对棒还原炉底盘

本发明公开了一种48对棒还原炉底盘，包括有底盘本体和电极，电极具有48对，分列成四道圆环状结构设置于底盘上形成四圈电极环，从内往外依次为电极一环、电极二环、电极三环和电极四环；每一圈电极环的两侧均设有一圈由若干出气口构成的出气环和一圈由若干进气口构成的进气环；进气环共设置有三圈，其中电极一环的内侧和电极四环的外侧各设有一圈。本发明的主要有益效果有：可以促进硅棒表面的物料气循环，获得优质的多晶硅棒；可以实现钟罩内壁的内部冷却，缩减钟罩内壁的清洁频次，降低炉内热辐射损失并提高生产效率；可以提高物料转化率，降低生产能耗。

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