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一种铕掺杂的硼酸钇薄膜的厚度调控方法

专利(申请)号:CN201410684988.8

专利类型:发明专利

支付方式:支付宝微信

价格:面议

服务承诺:无滞纳金、无恢复费、20个工作日完成变更

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专利简介
本发明公开了一种铕掺杂的硼酸钇薄膜的厚度调控方法,包括:1)将水溶性钇盐、氧化铕、氨水、醇和水混合;2)向步骤1)得到的混合物中加入硼源,所述硼源为硼酸或硼酸酯;3)步骤2)得到的混合物反应24~48h;4)使用浸渍提拉法对硅底片进行镀膜,镀膜速度为0.88~1.52mm/s,镀膜后置于马弗炉中进行200~600℃煅烧;此过程反复1-6次;5)薄膜达到预期厚度后置于1000℃以下进行退火,得到YBO3 : Eu3+薄膜,所述预期厚度为10~100nm。本发明的优点在于:溶胶-凝胶浸渍提拉镀膜法制备YBO3:Eu3+纳米材料,具有厚度可控和特殊形貌的优势。
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