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一种快速软恢复功率开关二极管(专利号201410261023.8),从上到下依次设置有P+阳极区、超结部分、N-层和N+P+N+阴极区;所述的超结部分为对半设置的N柱和P柱组成,N柱和P柱沿横向排列,超结部分的N柱和P柱至少设置一对。本发明还公开了该种快速软恢复功率开关二极管的制备方法。本发明的快速软恢复功率开关二极管及制备方法,使得二极管的反向恢复峰值电流较常规的PiN二极管大大减小,反向阻断特性和正向导通特性有了很大提升,能够更好的适用于高频电路应用中。
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