[00008815]一种氮氧钛铝/氮化钛铝/钛铝复合膜的制备方法
联系人： 韩晓微
所在地：辽宁 沈阳市
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技术详细介绍
一种氮氧钛铝/氮化钛铝/钛铝复合膜的制备方法（专利号201410124720.9），其制备方法依次包括：1、沉积技术及靶材成分的确定；2、基体工件的选择与前处理；3、基体工件悬挂方位的确定；4、真空加热处理；5、预轰击工艺的确定；6、沉积工艺的确定。本发明提高了膜层与基体之间的附着力，同时提高了膜层硬度，并具有良好的稳定性和可重复性。
