[00008807]一种氮化钛锆铌氮梯度硬质反应膜的制备方法
联系人： 韩晓微
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技术详细介绍
一种氮化钛锆铌氮梯度硬质反应膜的制备方法（专利号201310514050.7），其制备方法依次包括：1、沉积技术及靶材成分的确定；2、工件的选择与前处理；3、预轰击工艺的确定；4、沉积工艺的确定；5、真空加热处理；6、工件旋转。本发明降低了镀膜成本，保证了低摩擦系数、高膜层硬度和高附着力的同时实现，减小膜层的内应力，并具有良好的稳定性和可重复性。
