联系人: 韩晓微
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一种氮化钛/氮化铝/镍纳米多层薄膜的制备方法,涉及一种陶瓷/陶瓷/金属纳米多层薄膜的制备方法,包括以下步骤:选钢材作为基体,基体表面研磨并抛光后,用超声波清洗,烘干后镀膜;沉积多层薄膜前先将真空室抽真空,然后通入高纯氩气,在基体上沉积一层金属钛层,通过计算机精确控制靶材上挡板的打开时间进行交替沉积TiN/AlN/Ni纳米多层薄膜,镀膜结束后样品随炉冷却至室温即可。该方法系一种反应磁控共溅射方法沉积的高硬度、高韧性、高结合强度、耐磨、耐腐蚀、耐高温氧化的TiN/AlN/Ni纳米多层薄膜的制备方法。该薄膜可应用于工模具的表面或作为装饰薄膜应用于钟表、首饰等产品,属于表面强化或表面改性领域。
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