[00079900]一种冶炼钒铁合金的直筒炉炉衬的制造方法
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所在地：宁夏回族自治区 石嘴山
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技术详细介绍
本发明涉及一种掺杂氧化锌基溅射靶材及其制备方法，其特点是化学式为：ZnxAlyMz，其中Al为第一掺杂剂，第二掺杂剂M为选自W、Mo、Nb、Zr、Ce和V中至少一种，其中以原子百分比计91.5＜x＜98.9；1＜y＜7；0.1＜z＜1.5。与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：工艺设备简单，成本较低，易于工业化生产。相较于单一Al2O3掺杂AZO靶材，其溅射镀膜层具有高可见光透过率(≥90％)和近近红外(800-1800nm)高透光性(≥75％)及提高的耐湿热(60℃，90％RH湿度)特性(附表)。
