[00077230]多自由度精密位移平台
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技术详细介绍
多自由度精密位移平台由压电马达驱动，包含传 感器、驱动器和控制器等部件，是精密仪器运动控制 系统的核心部分，也是精密加工设备、医疗设备、微 电子制造检测设备、测量仪器、印刷设备、生物医疗 设备、自动化生产线的关键组件。其压电马达具有高 分辨率、小尺寸、低能耗等特点，其运动控制部分采 用先进的EtherCAT （通用超高速以太网现场总线） 方案，使系统不仅更简洁、更灵活，还具有更好的实 时性。本项目产品主要针对医疗设备、精密测量设备和 微纳米加工市场，可应用于高端微电子装备、精密仪器仪表、计算机、工业控制系统、航空航天、智能机器 人等领域。主要客户为光学，电子显微镜制造商,DNA、 细胞及组织检测设备制造商，纳米材料研究及生产单位。多自由度精密位移平台重复定位精度：优于1.0um, 最小步长：优于0.1um，驱动方式：单相脉冲，最 大速度：大于200mm/s,最大加速度：2g,最大行 程：300mm，可多轴同步驱动：控制时延时不超过 100us。本项目申请了多项专利，其中2项发明专利和 6项实用新型专利已经授权，申请了 2项软件著作权。
