[00075923]具有可调谐功能的平面纳米振荡器
联系人： 许恩平
所在地：广东 广州市
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技术详细介绍
摘要：本发明涉及一种具有可调谐功能的平面纳米振荡器，包括绝缘衬底层、二维半导体导电层、绝缘保护层、穿透所述二维半导体导电层的绝缘刻槽、输入电极、输出电极和覆盖于所述绝缘保护层之上的表面调控栅极；绝缘刻槽包括横向绝缘刻槽和纵向绝缘刻槽，横向绝缘刻槽之间形成振荡沟道；纵向绝缘刻槽之间形成振荡沟道的入口，并将二维半导体导电层除振荡沟道以外的区域分隔成相互绝缘的左边区域和右边区域；输入电极与左边区域连接形成输入端，输出电极与右边区域连接形成输出端；表面调控栅极设于振荡沟道上方。本发明通过调节表面栅极的偏压和覆盖范围，可以提升器件输出信号的频率，突破由器件长度所限制的极限工作频率，使其工作频率具有可调性。
