[00075820]一种钯银合金纳米薄膜氢敏元件及制作方法
联系人： 高小龙
所在地：湖北 武汉市
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技术详细介绍
摘要：本发明公开一种钯银合金纳米薄膜氢敏元件及制作方法，是采用直流磁控溅射工艺，在溅射有电极的氧化硅片上，按：“溅射钯→钯纳米薄膜→热处理→溅射银→钯银复合纳米薄膜→热处理”步骤，制成氢敏元件，所述氢敏元件具备响应时间小于5s、回复时间小于10s、重复性好、选择性强且耐环境变化性高特点，在同样氢气浓度条件下的响应行为几乎完全一致，在实验室中进行多次高氢浓度氢敏实验后仍可以回复至初始状态；所述工艺具备批量化工业生产条件，并应用到实际生产中以用于检测氢气的泄漏，起到安全防护的作用。
