[00007307]多晶硅氢化工序中的能量利用
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所在地：内蒙古自治区 呼和浩特市
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技术详细介绍
本发明提供了一种多晶硅冷氢化工序中能量利用的方法，其通过对传统冷氢化工艺的改进，对反应热进行回收利用，从而达到降低能耗的效果。该方法的具体步骤为：四氯化硅液体和氢气气体进入列管式汽化器混合后进入急冷管；进入急冷管的混合气体与来自氢化反应器的反应生成气换热后，进入电加热器，被电加热后，接着进入氢化反应器与其中的硅粉发生反应；反应生成气换热后，进入文丘里洗涤器，洗涤下来的硅粉颗粒及少量氯硅烷残浆定期排放至残浆罐；从文丘里洗涤器出来的洗涤后的气体进入列管式汽化器，对氢气与四氯化硅混合物料进行加热后，进入冷凝系统。
