[00007040]一种离子注入样品台
联系人： 武汉大学
所在地：湖北 武汉市
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技术详细介绍
本发明公开了一种离子注入样品台，包括密封板、样品台底座、步进电机、样品板支架、齿轮连接轴、样品板、束流插孔、抑制电极、绝缘柱、电压插孔和计算机控制系统，样品台主体部分由样品台底座、步进电机、样品板支架、步进电机、齿轮连接轴和样品板从下至上依次连接；步进电机1可推动样品板支架左右移动，步进电机2可推动齿轮连接轴旋转并带动样品板转动；步进电机1和步进电机2均与计算机控制系统相连；样品板与束流插孔相连；抑制电极通过绝缘柱与样品台底座固定连接，且其通过导线连接电压插孔。该样品台可以通过计算机进行远距离控制，具有平移功能和旋转功能，离子注入过程中可以快速精确地更换样品，并且可以精确控制样品的倾斜角度。
