[00069875]精密激光直写刻蚀系统
联系人： 仇国阳、田天
所在地：江苏 苏州市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
技术投资分析：
采用DPSSL紫外输出激光束，作为激光直写系统的光源，在610mmx800mm的幅面上，直写精密图形，是IT行业中精密图形输出装备。
该装备采用双远心光路和差分调节装置、CCD成像监控的技术，可实时监控激光点的聚焦变化。
支持：矢量图形、点阵图形直写
1、精密电路输出
2、显示器电极直写
3、精密掩模输出
4、精密图形加工（精密光刻）
5、材料刻划加工（硅片、聚合物）
加工材料：Si， SiO2，聚合物、金属等
性能指标：
输出定位精度：1微米
光点尺寸：5-50微米可调
直写幅面：610mmx800mm
激光波长：355nm（10W）
运行速度：0 - 500mm/s
技术的应用领域前景分析：
IT行业，科学研究，激光精密加工
效益分析：
技术支持力量强，市场空间大。
厂房条件建议：
无
备注：
无
