[00069874]微纳米压印技术与设备
联系人： 仇国阳、田天
所在地：江苏 苏州市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
技术投资分析：
采用高频感应加热和压力传感技术，在聚合物表面进行快速纳米压印光刻，最小结构：>30纳米，速度快1s/单次压印，可快速更换压印头。在软件的控制下，进行多图形组合压印光刻方式，形成阵列图形。
具有国际先进水平，功能最强、已投入工业化应用。
性能指标：
压印输出精度：>30nm
单元面积：50mmx50mm
阵列幅面：640mm x 800mm
技术的应用领域前景分析：
精密电路掩模、精密纳米结构，精密光导器件、显示器件衍射光学列阵器件。
效益分析：
本技术市场应用范围广，成本低，利润高，效益可观。
厂房条件建议：
无
备注：
无
