[00069859]大面积并联高密度感应耦合等离子体源
联系人： 仇国阳、田天
所在地：江苏 苏州市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
技术投资分析：
本专利公开了一种大面积并联高密度感应耦合等离子体源，包括射频电源、匹配网络、外置天线和真空腔体等。采用了创新的感应天线的绕制方法，提高了射频功率的耦合效率，增强了等离子体密度，改善了其放电均匀性，设计与制作简单，成本低廉。
技术指标：在700W射频功率的条件下，Ar等离子体密度超过1011cm-3，表面处理的均匀性好于85％。
技术的应用领域前景分析：
各种样品表面的快速等离子体真空处理、薄膜生长等。
效益分析：
本技术市场应用范围广，利润丰厚，效益十分可观。
厂房条件建议：
无
备注：
无
