[00064555]利用射频或直流磁控溅射制备掺铝氧化锌透明导电薄膜
联系人： 赖发春
所在地：福建 福州市
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-
资料保密
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技术详细介绍
技术投资分析：
由于氧化铟材料的不断上涨，而氧化锌在自然界中很丰富，并且氧化锌稳定且不含毒素，因此制备掺铝氧化锌薄膜来替代ITO薄膜具有很好的实用和经济价值。本课题组已经利用射频和直流磁控溅射技术制备了方块电阻小于50欧，可见光区平均透过率（含基板）大于84％的掺铝氧化锌薄膜。
技术的应用领域前景分析：
随着应用范围的扩大，效用辐射面扩大，必定产生良好经济效益。
效益分析：
该技术产品的研发具有良好的经济效益和社会效益。
厂房条件建议：
无
备注：
无
