[00063799]微电子机械毫米波压控相移器的制造方法
联系人： 齐晴
所在地：上海 崇明
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资料保密
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技术详细介绍
技术投资分析：
一种微电子机械（MEMS）毫米波压控相移器的制造方法，属微电子固体器件制造的技术领域，以产品的半成品，即经加工的、表面刻蚀有接地导带2、信号线4和接线端5的条带图案和信号线4上生长有氮化硅层7的基片1为原料，通过采用调配的环化橡胶负性光刻胶作牺牲层6和光刻胶涂布技术，在该半成品上制成20~30多个高低一致、宽度相同、排列整齐的金属微桥3，有成品率高、电性能优越：开启电压低、相移量大，且连续可调的优点，特别适于作毫米波压控相移器。
技术的应用领域前景分析：
随着应用范围的扩大，效用辐射面扩大，必定产生良好经济效益。可应用于作毫米波压控相移器，市场前景良好。
效益分析：
本发明具有明显的社会效应和很大的经济效益。
厂房条件建议：
无
备注：
无
