[00063721]小功率微波等离子体源
联系人： 齐晴
所在地：上海 崇明
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
技术投资分析：
该等离子体源，需与微波源联用，含接地平面、基片、馈电同轴、平面微带螺旋电感线圈、过渡微带线、调谐电容和调配电容，平面微带螺旋电感线圈、过渡微带线、调谐电容和调配电容的一个极片沉积在基片的上表面，平面微带螺旋电感线圈的始端经过渡微带线、调谐电容与调配电容的一个极片连接，接地平面作为调配电容的另一个极片沉积在基片的下表面，平面微带螺旋电感线圈的终端经分布电容与调配电容的另一个极片连接，馈电同轴跨接在调配电容的两端，工作时，微波源的输出信号通过馈电同轴馈加在调配电容的两端。有体积小巧和微波等离子体易于激励等优点。
技术的应用领域前景分析：
一种小功率微波等离子体源，属微波等离子体源的技术领域。
效益分析：
该技术产品的研发具有良好的经济效益和社会效益。
厂房条件建议：
无
备注：
无
