[00063652]一种片上LC无源低通滤波器及其制备方法
联系人： 齐晴
所在地：上海 崇明
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资料保密
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技术详细介绍
技术投资分析：
该滤波器含片上微电感、片上MIM电容、片上共面波导传输线和复合衬底，复合衬底由氧化多孔硅薄膜、多孔硅层和低阻硅片组成，多孔硅层夹在氧化多孔硅薄膜和低阻硅片之间，由片上微电感、片上MIM电容和片上共面波导传输线组成的片上LC无源低通滤波电路依附在氧化多孔硅薄膜上，用与CMOS工艺兼容的工艺制作而成，有体积小，易于制造，生产成本低，能与现今的CMOS工艺相兼容，在通带内衬底插入损耗小的优点。
技术的应用领域前景分析：
一种基于氧化多孔硅/多孔硅的片上LC无源低通滤波器及其制备方法。
效益分析：
随着应用范围的扩大，效用辐射面扩大，必定产生良好经济效益。
厂房条件建议：
无
备注：
无
