[00063591]多功能等离子体系统及相关零部件

技术投资分析： 　　真空等离子体装备既很好地结合传统产业，又融入了纳米科技方面的高新技术，集机械、电子、电工和自动化控制等技术为一体，产品有很高的附加值，且有巨大的市场需求。华东师范大学与上海纳晶科技有限公司进行"产学研"结合，研究开发了高性能等离子体装备所用的核心技术、关键零部件、模块及整机系统，并正在进行中试生产，产品供不应求。 　　在对各种薄膜材料的制备工艺和性能进行系统研究的基础上，开发成功具有多种功能的、具有优良性价比的等离子体沉积系统，将磁控溅射、等离子体化学气相沉积、等离子体表面处理等功能有机结合起来，能解决不同薄膜材料需用不同制备方法的关键工艺问题，实现多种薄膜的制备。特别适宜各种纳米薄膜材料，包括金属、合金、金属氧化物、氮化物薄膜、碳纳米管薄膜及类金刚石薄膜等的制备。系统可实现薄膜厚度的精确控制，基片的等离子体在线清洗和薄膜沉积过程的计算机自动控制等。可用于功率LED芯片、太阳能电池、半导体集成电路等器件的制造。 技术指标： 　　本项目所开发的关键单元模块和整机与国内外同类产品的主要技术指标比较如下： 　　主要技术指标及其对比： 　　技术指标 单位 本项目 国内水平 国际水平 　　分子泵极限真空度 Pa 10-7~10-8 10-6~10-7 10-7~10-8 　　系统本底真空度 Pa 10-5~10-6 10-4~10-5 10-5~10-6 　　靶材利用率 % 40~50 25~35 30~40 　　薄膜均匀性 % ±2-5 ±5 ±2~5 技术的应用领域前景分析： 应用领域： 　　等离子体系统可用于平面显示器的电极薄膜、介质薄膜、催化剂膜、碳纳米管薄膜及相关材料的沉积和处理，可用于制备各种光学镀膜、硬质保护层、装饰镀膜等。所涉及的领域包括纳米材料、光电子器件、有机电子器件、传感器、新一代平面显示器（FED,OLED等）。 效益分析： 市场前景： 　　全球与等离子体技术应用相关产业到2010年将达3000亿美元；国内薄膜材料制备设备应用近年来年均增长率在40%以上，已有上千亿元的市场。针对国内自主生产的相关设备不足10%的占有率，装备整机性能低等问题，本项目所研制的等离子体系统可填补国内高端装备的空白，可替代相当部分进口产品，其相关技术及产品可快速产业化，在短期内形成数千万的产值，年利润可达数百万元的经济收益；在中期内形成数十亿元的产值。本项目的产业化也可带动一大批相关行业如精密机械、新材料、光电子、电力电子、计算机和自动化控制等多种行业的发展，使产业发展能更多地立足于具有自主知识产权的技术,减少对国外技术的依赖,创造良好的社会效益。 厂房条件建议： 无 备注： 无