[00063590]高性能薄膜材料的多功能等离子体系统
联系人： 齐晴
所在地：上海 崇明
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资料保密
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- 如实描述
技术详细介绍
技术投资分析：
通过对各种薄膜材料的生长方法、制备过程等进行系统研究总结的基础上，开发成功具有多种功能的具有优良性价比的等离子体沉积系统，将磁控溅射、等离子体化学气相沉积、过滤阴极电弧、等离子体表面处理等功能有机的结合起来，能解决不同薄膜材料需用不同的制备方法等的关键工艺问题，实现多种薄膜的制备。
特别适用各种纳米薄膜材料，包括金属、合金、金属氧化物、氮化物薄膜等的制备。系统可实现薄膜厚度的精确控制，基片的等离子体在线清洗和薄膜沉积过程的计算机自动控制等。
技术的应用领域前景分析：
应用领域：
等离子体系统可用于平面显示器的电极薄膜、介质薄膜、催化剂膜、碳纳米管薄膜及相关材料的沉积和处理，可用于制备各种光学镀膜、硬质保护层、装饰镀膜等。
效益分析：
本发明具有明显的社会效应和很大的经济效益。
厂房条件建议：
无
备注：
无
