[00063573]垂直各向异性铁基软磁薄膜的制备方法
联系人： 齐晴
所在地：上海 崇明
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技术详细介绍
技术投资分析：
用射频磁控溅射方法在基片上制备铁基软磁薄膜，完成制备后在适当温度退火，不加外磁场或在垂直于膜面的外磁场内冷却，得到垂直各向异性铁基软磁薄膜，基片为载玻片或硅片，靶材为铁基软磁合金：Fe70+xCu1Nb3Si17-xB9 或Fe68+xCu1Cr2V4Si16-xB9,x为0～5，有制备工艺简单，效率高，成本低的优点，本发明制备的产品性能优良和稳定：薄膜附着力强，膜层厚度均匀，薄膜成分相对靶材成份变化小，重复性好，这对高密度垂直磁记录及磁光存储等技术领域具有很大的应用价值。
技术的应用领域前景分析：
一种垂直各向异性铁基软磁薄膜的制备方法，属磁性材料制备技术领域。
效益分析：
随着应用范围的扩大，效用辐射面扩大，必定产生良好经济效益。
厂房条件建议：
无
备注：
无
