[00063550]一种多孔硅的阳极氧化表面处理技术
联系人： 齐晴
所在地：上海 崇明
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资料保密
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技术详细介绍
技术投资分析：
一种多孔硅阳极氧化表面处理技术，属半导体材料，确切说，功能信息材料的制备技术领域，包括多孔硅的阳极氧化表面处理工序和干燥处理工序，前道工序：在腐蚀槽2内实施，把湿的、一个表面附有多孔硅61的P型单晶硅片6悬置于腐蚀槽2内，向腐蚀槽2注入H2O2水溶液3，通电进行阳极氧化；后道工序：清洗和用常规的干燥方法干燥经前道工序处理的湿的、一个表面附有多孔硅61的P型单晶硅片6，制得干燥的多孔硅成品。
技术的应用领域前景分析：
适于用来对湿的多孔硅进行表面处理，制得干燥的多也硅。
效益分析：
有设备简单、操作方便、精度控制容易、生产成本低和适用于工业生产的优点。
厂房条件建议：
无
备注：
无
