[00006888]一种新型多晶硅碳头料的物理分离方法
联系人： 刘媛莉
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技术详细介绍
一种新型多晶硅碳头料的物理分离方法，本发明涉及多晶硅的生产中多晶硅碳头料石墨部分与高纯硅的分离的物理方法。该方法包括多晶硅碳头料的破碎前处理、喷砂分离、分离后碳头料的DI水漂洗、DI水超声波清洗、化学清洗、清洗后碳头料的烘干以及检查包装七个步骤。该方法的特点是：利用喷砂装置射出的高速磨料直接作用于碳头料石墨部位将石墨与高纯多晶硅碳头料剥离；采用磨料硬度与多晶硅硬度相当，并选择合适的磨料粒度将处理过程中的损耗降至最低。相较原有化学腐蚀分离碳头料的方法，喷砂法安全可靠，不易燃不易爆；喷砂法一次即可将石墨完全剥离，有效节省人力物力；喷砂机磨料可重复使用，节约环保。
