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[00052492]局域表面等离子体共振增强近场光学探针

交易价格: 面议

所属行业: 微电子

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:200810247552.7

交易方式: 完全转让

联系人: 沈炎

所在地:安徽 芜湖市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述

技术详细介绍

局域表面等离子体共振增强近场光学探针,由探针纤芯(1)、金属薄膜包层(2)、局域表面等离子体共振增强结构(3)组成,其特征在于:局域表面等离子体共振增强结构(3)由金属薄膜(4)、金属薄膜(5)和空隙(6)构成。本发明利用金属薄膜表面等离子体局域实现高分辨率近场光学探测,具有分辨率高、抗干扰能力强、设计灵活等特点。该探针锥角范围大,针尖直径大,可以实现"又粗又亮",加工制作方便,适合量产。

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