[00052199]耐深紫外激光辐照特种玻璃
联系人： 陈主任
所在地：福建 厦门市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
一、项目名称
耐深紫外激光辐照特种玻璃
二、技术概况
耐ArF、F2深紫外激光辐照特种石英玻璃。
ArF准分子激光193nm的透过率大于90%。
F2准分子激光157nm的透过率大于80%。
ArF、F2深紫外激光辐照时，玻璃不产生结构缺陷，不发出红色荧光。
技术成熟度:
掌握了控制性能的关键技术。
除了纯度以外，H、H2含量范围、均匀性的控制及其关键技术。
三、产品用途和市场
深紫外光刻、光制导等
四、主要设备和总投资
根据要求形状以及尺寸，投产条件不同。
五、项目可供转让其他需要说明的情况
各种研发合作方式。欢迎洽谈。
