[00048733]透明导电薄膜制备技术
交易价格:
面议
所属行业:
微电子
类型:
非专利
技术成熟度:
通过中试
交易方式:
完全转让
联系人:
孔老师
所在地:江苏 南京市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
透明导电薄膜是指那种对可见光的平均透过率高(T80%)、电阻率低(ρ10-3Ωcm)的薄膜,在太阳能电池、平板显示器、薄膜晶体管、气敏元件、抗静电涂层等领域具有广阔的应用前景。传统的透明导电薄膜是指氧化铟锡(俗称ITO),ITO中其透过率和电阻率分别由SnO2与In2O3之比来控制,一般SnO2:In2O3=1:9。由于铟是一种稀缺金属,近年来人们一直在探索其他的替代材料。Zn是地壳中蕴藏量较丰富的一种元素,本项目采用磁控溅射法和溶胶-凝胶法制备的掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜,对可见光平均透过率大于90%,电阻率低于510-4Ωcm,具有广阔的应用前景。已发表科研论文十多篇。
技术特点:1.利用磁控溅射技术结合原位加热方法,在玻璃衬底上生长高质量AZO薄膜;2.利用磁控溅射技术通过调节生长气压和射频功率,在室温下柔性衬底上制备高质量AZO薄膜;3.采用对设备要求低、原材料价格低廉的溶胶-凝胶法制备技术;4.特殊气氛下热处理技术;5.场诱导结晶技术。
应用领域与前景:太阳能电池电极和触摸显示屏等的制备,替代进口产品,降低相关器件的制备成本。