[00048256]类金刚石硬质薄膜

　　项目概况： 　　类金刚石薄膜（diamond-likecarbon,DLC）是一种亚稳态的非晶碳薄膜，具有一系列类似于金刚石的多种优异性能，如高硬度、低摩擦系数、高耐磨耐蚀性、高热导率、在可见到紫外光范围内透明、良好的绝缘性和化学稳定性、优异的生物兼容性及表面光滑等，可广泛用于机械、电子、光学、医学等领域。本项目制备的类金刚石薄膜具有质量稳定，与基体结合强，硬度、弹性模量、摩擦系数和透光性可调控，耐摩擦磨损和热稳定性好等综合优良性能。制备工艺方法具有成膜速率高，可实现低温、大面积沉积。所制备的类金刚石薄膜，与金刚石相比具有更高的性能价格比。 　　本项目制备的类金刚石膜可用在许多领域，尤其是在机械制造和先进加工器件方面。如汽车发动机凸轮、挺杆、陶瓷阀及其他耐磨损机械装置部件；精密模具行业（注塑成型模具、冲压模具、半导体封装模具、吹塑成型模具等）；高精密机械（精密轴承、精密传动机构等）；各种加工工具和切削刀具；医疗设备和器具；磁介质保护膜、各种装饰镀膜和日常用品（手机和手表外壳、扬声器振膜、高尔夫球具、剃须刀片等）。 　　技术指标： 　　薄膜厚度：几十纳米到几个微米；硬度：25GPa以上；摩擦系数：小于0.15，摩擦磨损过程中具有自润滑作用；沉积温度：小于200℃。 　　知识产权： 　　项目水平：国内领先 　　成熟程度：小试 　　市场前景： 　　目前中国已经成为制造业和加工业大国，类金刚石硬质薄膜在机械制造和加工工具方面具有广阔的市场前景，可用于汽车发动机耐磨损机械装置部件、精密模具、高精密机械、各种加工工具和切削刀具、医疗设备和器具、磁介质保护膜、各种装饰镀膜和日常用品。 　　合作方式：合作开发、技术转让、技术入股