[00047994]90纳米MOS集成电路大生产工艺与可制造性设计研究
联系人： 张冬美,叶青青
所在地：浙江 杭州市
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资料保密
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技术详细介绍
我校联合国内集成电路生产厂家，主导设计完成了国内首批90纳米示范标准单元库，完成了国内首次90纳米测试片设计，开发了国内首个亚100纳米可制造性验证工具。研究成果具有国际先进水平，已被国内中芯国际(SMIC)等厂家正式采用，应用到工业化生产过程，其核心技术更已被其它多家国际集成电路生产厂所采用。
