[00047595]薄膜检测光学传感器
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技术详细介绍
一、项目概述：
本发明公开了一种光学传感器。该光学传感器主要由泵浦二极管激光器、斩波器、分光棱镜组成，其中，第一泵浦二极管激光器和第二泵浦二极管激光器输出不同频率的两束激光，通过斩波器的调制输出一束激光，这一束激光通过分光棱镜照射到二元光栅分束器上形成二维光束阵列，经薄膜样品(反射在CCD焦平面上成像，显示出反射光束阵列的光点位置分布信息和每个点光强的变化信息，通过计算该光强的变化信息得出薄膜生长率，利用光束偏移信息和Stoney方程解算出薄膜应力，根据Brunner提出入射光真空波长λ0和铝组分x的函数的模型估计材料组分。本发明可实现薄膜生长过程中的在线测量，可用于半导体材料和器件的制作领域。
二、专利现状：专利号ZL200610041991.3
