[00047522]数字式全息光栅干涉测量头
联系人： 王老师
所在地：陕西 西安市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
1、概述
我室成功研制的数字式全息光栅干涉测量头以半导体激光器作干涉光源，以高精度、小栅距的全息光栅作为测量用标尺，通过全息光栅衍射光的干涉技术实现光栅位移的测量，并用计算机完成数据采集、处理、显示、打印等功能。该测量头具有通用的标准光管直径，可以代替各种立式光学计、接触式干涉仪等类似仪器的测量光管，组成一种新型的端度测量仪器。
2、性能指标：
绝对测量范围：0～1mm
最小分辨率：0.04μm
测量光管直径：φ28mm
用一等量块传递二等量块时的测量不确定度：
δ=±（0.059＋1×10-3L）μm
用四等量块传递五等量块时的测量不确定度：
δ=±（0.16＋8×10-3L）μm
外形尺寸：260×220×80mm
3、特点：
测量精度高、自动化程度高、互换性方便
4、服务方式及费用：面议
