[00045751]二元光学元件数字化制作技术
联系人： 南昌航空大学
所在地：江西 南昌市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
一、项目简介：
1.概述
二元光学元件是一种纯相位衍射光学元件，除具有体积小、重量轻、容易复制等显而易见的优点外，还具有高衍射效率、独特的色散性能、更多的设计自由度、宽广的材料可选性和特殊的光学功能，因此二元光学元件已广泛用于光学传感、光通信、光计算、数据存储、激光医学、娱乐消费以及其他特殊系统中。在多种二元光学元件制作技术中，基于空间光调制器的数字化制作技术具有制作周期短、成本低、精度高等优点，具有良好的应用前景。
项目采用数字化的空间光调制器DMD代替传统的掩模板，由DMD对入射光调制产生所需的图形来投影曝光制作二元光学元件，已成功制作出闪耀光栅、Dammann光栅、Ronchi光栅、Fresnel波带透镜、二元光栅等元件掩模。并发展了一系列适用于掩模曝光的数字化新技术，如数字移动掩模技术制作连续面型柱透镜阵列，数字旋转掩模技术制作微透镜，数字分形掩模技术提高所制作二元光学元件的边缘锐度等。
2.效益、技术指标
1)DMD图像直接投影制作灰度掩模，一次曝光形成灰度掩模的面积相当于直写系统在数小时内才能完成的工作量，制作周期大大缩短，制作成本低；
2)DMD由边长只有十几微米的正方形像素阵列构成，二元光学元件掩模图形被离散化成上百万个像素，每一个像素只需精缩不到20倍，就可达到亚微米级的光点，解决了普通图形输出设备分辨率不高的难题。
3)系列数字化制作技术简单实用，使得复杂表面浮雕结构的二元光学元件的制作变得简单易行。
二、合作方式：
合作开发、技术服务
