[00045624]基于合成波长条文细分原理的纳米测方法测量系统
联系人： 程正昌老师
所在地：浙江 杭州市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本项目提出利用合成波长对光学干涉条纹进行细分以实现达范围高精度纳米测量的新方法，构筑了在同一干涉仪中能同时实现大范围测量和超高精度测量的新型纳米测量系统，旨在为现代设计与制造所涉及的微机电技术提供新的纳米级设置皮米级的大范围纳米测量手段。并构筑系统实验平台验证理论结果。
