[00045367]微电子工业中的抛光、清洗和光刻油墨等化学问题
联系人： 陈主任
所在地：福建 厦门市
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技术详细介绍
抛光对宝石业和微电子业均很关键，现集成电路的线宽小了，不再允许细小划痕等缺陷，故得讲究抛光粉粒径、形貌，以及抛光液的稳定性和去除率。清洗技术更多地表现为工程问题。光固化油墨尚须下大气力。
IC抛光、清洗和光固化油墨大多被境外公司垄断，主要依赖的却是我们的稀土资源。应该像钨业那样，变输出原料为出口成品，保护战略资源，提高效益。技术上也须冲破垄断。先民用后进入高新技术领域应是个办法。
